中國科學院上海微系統與信息技術研究所原名中國科學院上海冶金研究所，前身是成立于1928年的國立中央研究院工程研究所，是我國最早的工學研究機構之一。新中國成立后隸屬中國科學院，曾命名中國科學院工學實驗館、中國科學院冶金陶瓷研究所。2001年8月，根據學科領域和科研目標的調整，更名為中國科學院上海微系統與信息技術研究所，簡稱上海微系統所。